伺服閥及伺服比例閥
 尺寸05
D634系列電液伺服閥是可用作三通和四通節(jié)流型流量控制閥，用于四通閥時(shí)控制性能更好。該系列閥為高性能的兩級(jí)電液伺服閥，在7Mpa額定壓降下的額定流量為5L/min至75L/min。閥的先導(dǎo)級(jí)是一個(gè)對(duì)稱(chēng)的雙噴嘴擋板閥，由干式雙氣隙力矩馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；輸出級(jí)是一個(gè)四通滑閥。閥芯位置由一懸臂彈簧桿進(jìn)行機(jī)械反饋。該系列閥結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、堅(jiān)固，工作可靠，使用壽命長(zhǎng)。
這類(lèi)閥適用于位置、速度、力（或壓力）伺服控制系統(tǒng)，并具有很高的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。
1、閥的特點(diǎn)：
- 采用干式力矩馬達(dá)和兩級(jí)液壓放大器結(jié)構(gòu)
- 先導(dǎo)級(jí)為低摩擦力的雙噴嘴擋板閥
- 閥芯驅(qū)動(dòng)力大
- 安裝尺寸符合 準(zhǔn)（外控油口不符合 準(zhǔn)）
- 堅(jiān)固而長(zhǎng)壽命的設(shè)計(jì)
- 高分辨率、低滯環(huán)
- 各項(xiàng)數(shù)據(jù)已在出廠時(shí)全部調(diào)整完畢
- 可選擇第五個(gè)油口用于單獨(dú)控制先導(dǎo)閥
- 可現(xiàn)場(chǎng)更換先導(dǎo)閥的碟形濾油器

Elesa+Ganter艾麗莎岡特橫向扳手，其式輸出很好地解決了斷電歸零問(wèn)題，由于敏感元件都是非接觸式、無(wú)磨損運(yùn)行，平均*時(shí)間為23年，美國(guó)MTS系統(tǒng)公司是全求*開(kāi)拓磁致伸縮測(cè)量技術(shù)的公司。 MTS位移傳感器、MTS傳感器，主要用于冶煉、軋鋼系統(tǒng)地伺服液壓缸連續(xù)位置測(cè)量和反饋，如在熱連軋廠中利用MTS位移傳感器作液壓AGC控制。 MTS磁性傳感器是運(yùn)用*的電路設(shè)計(jì)和篩選技術(shù)，利用塊狀檢出原件制造出的高敏感性傳感器。由于在受物體上安裝磁石進(jìn)行檢測(cè)，使得傳感器對(duì)復(fù)雜環(huán)境的耐受能力非常強(qiáng)。同時(shí)可以根據(jù)客戶的應(yīng)用環(huán)境的不同，選擇不同的磁石。 MTS磁性接近開(kāi)關(guān)專(zhuān)業(yè)用來(lái)代替機(jī)械型的接近開(kāi)關(guān)，是具有非接觸，長(zhǎng)壽命，檢測(cè)的距離范圍大等特點(diǎn)的接近開(kāi)關(guān)。如被檢測(cè)物體是磁性物質(zhì)，即使在水，油污，粉塵等惡劣環(huán)境條件下，MTS磁性接近開(kāi)關(guān)都可以準(zhǔn)確無(wú)誤的將檢測(cè)磁石的位置檢測(cè)出來(lái)。同時(shí)，磁性接近開(kāi)關(guān)之間互不干擾，可以并排使用。

四、日常維護(hù)和保養(yǎng)：
1、油路沖洗
目前航天使用的電液伺服閥，為適應(yīng)航天型號(hào)重量輕、安裝空間小、工作環(huán)境惡劣的需求采取集成、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，其中節(jié)流孔、射流盤(pán)等核心組件尺寸小，具有精密微小孔和微小型腔結(jié)構(gòu)特征，如圖3、圖4所示，尺寸一般在0.10～0.80mm之間；閥套類(lèi)零件則為精密深孔且具有通油環(huán)槽、密封槽結(jié)構(gòu)，如圖5所示；殼體類(lèi)零件則多為形狀復(fù)雜的異形槽、盲孔、斜孔、階梯孔等。
電液伺服閥以液壓油作為工作介質(zhì)，在工作過(guò)程中對(duì)于多余物的存在十分敏感，多余物來(lái)源可分為外部引入、內(nèi)部產(chǎn)生，存在于液壓系統(tǒng)內(nèi)部的死角，如盲孔、小孔、配合表面縫隙以及各密封結(jié)構(gòu)處，直接影響產(chǎn)品的性能，嚴(yán)重時(shí)可導(dǎo)致伺服閥工作失效，多余物可能存在于零件制造、裝配及調(diào)試各個(gè)環(huán)節(jié)，零件加工過(guò)程和裝配前均要求進(jìn)行清洗，為了預(yù)防多余物殘留，在調(diào)試前需進(jìn)一步進(jìn)行高壓液流沖洗。
   沖洗油路時(shí)，為了有效去除內(nèi)部殘留物需分別對(duì)帶有噴嘴、射流盤(pán)等微小結(jié)構(gòu)的底座和殼體進(jìn)行沖洗，并且采用正沖和反沖相結(jié)合的方式，所謂正沖即高壓油流經(jīng)油濾組件進(jìn)入噴嘴或射流盤(pán)兩腔，再經(jīng)伺服閥回油腔返回試驗(yàn)臺(tái)回油；而反沖正好相反，試驗(yàn)臺(tái)油液通過(guò)工裝進(jìn)入伺服閥的回油油路，反向進(jìn)入伺服閥噴嘴最后從測(cè)壓孔兩腔流出返回試驗(yàn)臺(tái)回油。采用正沖和反沖方式?jīng)_洗油路有利于去除存在于噴嘴擋板間隙、射流盤(pán)射流口以及閥套均壓槽中的多余物。

2、前置級(jí)性能穩(wěn)定性篩選
   無(wú)論是噴嘴擋板式還是射流管式伺服閥，其前置級(jí)都是基于噴射射流的基本原理，形成射流流場(chǎng)。由于從噴嘴和射流管?chē)姵龅挠鸵核俣确浅？?，而流?chǎng)的尺度又很小，因此該射流流場(chǎng)中常常伴隨有較強(qiáng)的剪切流動(dòng)，甚至在某些特定的工況下，伺服閥會(huì)產(chǎn)生高頻的自激噪聲，并伴隨著強(qiáng)烈的壓力脈動(dòng)，前置級(jí)性能穩(wěn)定性直接影響伺服閥的壓力零漂、溫度零漂以及抖動(dòng)等，為了保證伺服閥調(diào)試合格率，因而需要對(duì)前置級(jí)性能穩(wěn)定性進(jìn)行初步篩選，通過(guò)壓力對(duì)稱(chēng)性篩選檢測(cè)射流盤(pán)的兩個(gè)接收腔的壓力對(duì)稱(chēng)性和壓力穩(wěn)定性，如圖7所示，p1、p2為兩個(gè)接收腔的壓力。前置級(jí)篩選時(shí)，需要保證額定工作壓力范圍內(nèi)噴嘴或射流盤(pán)兩腔壓力差值滿足設(shè)計(jì)要求，并將壓力抖動(dòng)幅度控制在一定范圍內(nèi)，避免工作時(shí)壓力脈動(dòng)太大引起前置級(jí)不穩(wěn)定。
3、調(diào)整零位
   Elesa+Ganter艾麗莎岡特橫向扳手伺服閥的零位由液壓零位、機(jī)械零位和電磁零位三個(gè)零位組成，零位一致性好壞直接影響伺服閥的靜態(tài)特性和零區(qū)特性以及環(huán)境適應(yīng)性，也是后續(xù)調(diào)試的基礎(chǔ)與前提。三個(gè)零位的調(diào)整順序依次為液壓零位、機(jī)械零位、電磁零位。
   液壓零位是指在工作壓力下伺服閥前置級(jí)左右兩腔控制壓力的對(duì)稱(chēng)情況，調(diào)整液壓零位時(shí)應(yīng)避免反饋桿小球與閥芯之間無(wú)作用力，需要將反饋桿小球脫離閥芯，調(diào)整噴嘴或?qū)Я靼逦恢脮r(shí)應(yīng)緩慢施加作用力避免出現(xiàn)應(yīng)力集中。機(jī)械零位是指反饋桿在自由狀態(tài)下閥芯的位置，調(diào)試過(guò)程中通過(guò)微調(diào)底座安裝螺釘與螺釘孔之間的間隙達(dá)到調(diào)整機(jī)械零位的目的。電磁零位是指力矩馬達(dá)無(wú)電流信號(hào)輸入時(shí)，電磁回路使銜鐵偏轉(zhuǎn)為零，調(diào)整電磁零位時(shí)首先檢查力矩馬達(dá)四個(gè)氣隙基本均勻一致，將磁鋼充磁至飽和程度再退磁至工作點(diǎn)附近，調(diào)整或修研調(diào)整墊片觀察氣隙厚度應(yīng)基本一致，并保證力矩馬達(dá)4個(gè)安裝螺釘?shù)臄Q緊力矩盡量一致避免應(yīng)力分布不均導(dǎo)致電磁零位發(fā)生變化。
   為了消除和釋放零位調(diào)整過(guò)程中的內(nèi)部殘余應(yīng)力需要進(jìn)行時(shí)效處理，目前普遍采用熱時(shí)效和振動(dòng)時(shí)效，熱時(shí)效存在能耗大、成本高、材料機(jī)械性能下降等弊端，振動(dòng)時(shí)效又稱(chēng)振動(dòng)消除應(yīng)力法，將產(chǎn)品在其固有頻率下進(jìn)行數(shù)分鐘至數(shù)十分鐘的振動(dòng)處理，消除其殘余應(yīng)力，使尺寸精度獲得穩(wěn)定的一種方法。熱時(shí)效能消除50%～80%的內(nèi)部殘余應(yīng)力，振動(dòng)時(shí)效能夠消除20%～80%，但振動(dòng)時(shí)效所的消耗能源僅為熱時(shí)效的5%。這種工藝耗能少、時(shí)間短、效果顯住，近年來(lái)在國(guó)內(nèi)外得到迅速發(fā)展，廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造、航空、化工器械、動(dòng)力機(jī)械等行業(yè)中。